※ 이차 이온질량분석법(SIMS): 고체 표면의 정밀 화학 분석을 위한 강력한 도구1. 이차 이온질량분석법(SIMS) 소개이차 이온질량분석법(Secondary Ion Mass Spectrometry, SIMS)은 고체 표면의 화학적 조성과 구조를 분석하는 데 사용되는 강력한 도구입니다. 이 방법은 고체 시료 표면에 1차 이온빔을 조사하여 시료 표면에서 튀어나오는 2차 이온을 생성한 후, 이 2차 이온을 질량 분석기로 분석하여 시료의 화학적 조성을 알아내는 기술입니다. SIMS는 매우 높은 민감도와 공간 분해능을 제공하므로, 나노미터 수준의 표면 분석이 가능합니다.2. SIMS의 원리SIMS의 작동 원리는 다음과 같습니다. 2.1 1차 이온빔 조사시료 표면에 고에너지의 1차 이온빔(일반적으로 O₂+, Cs..